Описана проблема размеров транзистора — все упирается в длину волны. Уже до совсем жесткого УФ дошли, что вызвало немало проблем и с оптикой.
Вопрос такой — а что если вместо света использовать поток электронов, как в электронном микроскопе? Почему не делают? Ведь там и линзы не нужны — можно управлять магнитным полем.
обычная фотолитография экспонирует пластины с производительностью более сотни в час
S> Вопрос такой — а что если вместо света использовать поток электронов, как в электронном микроскопе?
Да, можно.
S> Почему не делают?
Потому что на одной пластине много маленьких камешков. По каждому надо пройтись лучом. Это долго.
Основным недостатком электронной литографии является удручающе медленная скорость работы – чтобы экспонировать 300 мм пластину, понадобится около месяца.
Основным недостатком электронной литографии является удручающе медленная скорость работы – чтобы экспонировать 300 мм пластину, понадобится около месяца.
Но если поставить по экспонометру в каждый китайский гараж — получится огого.
Здравствуйте, Shmj, Вы писали:
S>Вопрос такой — а что если вместо света использовать поток электронов, как в электронном микроскопе? Почему не делают? Ведь там и линзы не нужны — можно управлять магнитным полем.
Давно используется. И линзы там есть, но магнитные (возможно и электрические)...
Учи матчасть.
В вики хотя бы загляни — электронная литография
S>>Вопрос такой — а что если вместо света использовать поток электронов, как в электронном микроскопе? Почему не делают? Ведь там и линзы не нужны — можно управлять магнитным полем.
SIT>Давно используется. И линзы там есть, но магнитные (возможно и электрические)... SIT>Учи матчасть. SIT>В вики хотя бы загляни — электронная литография
Не слышал чтобы оно прям в production пошло, втом числе из-за того, что одна 300мм пластина будет месяц там отрисовываться.
Здравствуйте, Glestwid, Вы писали:
G>Не слышал чтобы оно прям в production пошло, втом числе из-за того, что одна 300мм пластина будет месяц там отрисовываться.
Так давно работают над проекционной ЭЛ. Не знаю, как сейчас дела с ней... Видел в живую такой литограф ~30 лет назад
G>>Не слышал чтобы оно прям в production пошло, втом числе из-за того, что одна 300мм пластина будет месяц там отрисовываться.
SIT>Так давно работают над проекционной ЭЛ. Не знаю, как сейчас дела с ней... Видел в живую такой литограф ~30 лет назад
Ключевые слова — "давно", "работают" и "30 лет назад". А воз и ныне там, как с УТС.
Здравствуйте, Shmj, Вы писали:
S>Вопрос такой — а что если вместо света использовать поток электронов, как в электронном микроскопе? Почему не делают? Ведь там и линзы не нужны — можно управлять магнитным полем.
Еще на Интеграле в 1991 году делали. Советские БИМС были самыми большими интегральными схемами.
S>Вопрос такой — а что если вместо света использовать поток электронов, как в электронном микроскопе? Почему не делают? Ведь там и линзы не нужны — можно управлять магнитным полем.
Здравствуйте, SergeyIT, Вы писали:
SIT>Здравствуйте, Bjorn Skalpe, Вы писали:
BS>>Свет — это фотон, фотон меньше электрона.
SIT>Откуда такая информация?
Здравствуйте, Bjorn Skalpe, Вы писали:
BS> S>Вопрос такой — а что если вместо света использовать поток электронов, как в электронном микроскопе? Почему не делают? Ведь там и линзы не нужны — можно управлять магнитным полем.
BS> Свет — это фотон, фотон меньше электрона. Фотон УФ — ~1e-8 м Электрон — 2.4e-12 м
Здравствуйте, Эйнсток Файр, Вы писали:
ЭФ> ·> Запрещает ЭФ> Объективы не нужны. Нужно одно отражение от зеркала с маской.
Зеркало каким-то способом отменяет дифракцию?
Здравствуйте, Эйнсток Файр, Вы писали:
SIT>> Попробуйте получить увеличение в 100000000 в оптическом микроскопе... SIT>> В электронном — легко. Почему?
ЭФ>Потому что в электронном микроскопе не используются ЭФ>глаза человека в качестве регистрирующего инструмента ЭФ>с их природными ограничениями.
Современные оптические микроскопы тоже не используют глаза человека... ты отстал от жизни.
