Сообщение Re: Литография потоком электронов - позволит уменьшить чип? от 25.08.2020 7:09
Изменено 25.08.2020 7:11 Эйнсток Файр
Re: Литография потоком электронов - позволит уменьшить чип?
S> Вопрос такой — а что если вместо света использовать поток электронов, как в электронном микроскопе?
Да, можно.
S> Почему не делают?
Потому что на одной пластине много маленьких камешков. По каждому надо пройтись лучом. Это долго.
В разработке сейчас есть многолучевая электронная литография
https://habr.com/ru/post/412151/
Да, можно.
S> Почему не делают?
Потому что на одной пластине много маленьких камешков. По каждому надо пройтись лучом. Это долго.
В разработке сейчас есть многолучевая электронная литография
https://habr.com/ru/post/412151/
Re: Литография потоком электронов - позволит уменьшить чип?
S> Вопрос такой — а что если вместо света использовать поток электронов, как в электронном микроскопе?
Да, можно.
S> Почему не делают?
Потому что на одной пластине много маленьких камешков. По каждому надо пройтись лучом. Это долго.
В разработке сейчас есть многолучевая электронная литография
https://habr.com/ru/post/412151/
Да, можно.
S> Почему не делают?
Потому что на одной пластине много маленьких камешков. По каждому надо пройтись лучом. Это долго.
Основным недостатком электронной литографии является удручающе медленная скорость работы – чтобы экспонировать 300 мм пластину, понадобится около месяца.
В разработке сейчас есть многолучевая электронная литография
https://habr.com/ru/post/412151/