обычная фотолитография экспонирует пластины с производительностью более сотни в час

S> Вопрос такой — а что если вместо света использовать поток электронов, как в электронном микроскопе?

Да, можно.

S> Почему не делают?

Потому что на одной пластине много маленьких камешков. По каждому надо пройтись лучом. Это долго.

Основным недостатком электронной литографии является удручающе медленная скорость работы – чтобы экспонировать 300 мм пластину, понадобится около месяца.

В разработке сейчас есть многолучевая электронная литография
https://habr.com/ru/post/412151/