Описана проблема размеров транзистора — все упирается в длину волны. Уже до совсем жесткого УФ дошли, что вызвало немало проблем и с оптикой.
Вопрос такой — а что если вместо света использовать поток электронов, как в электронном микроскопе? Почему не делают? Ведь там и линзы не нужны — можно управлять магнитным полем.
обычная фотолитография экспонирует пластины с производительностью более сотни в час
S> Вопрос такой — а что если вместо света использовать поток электронов, как в электронном микроскопе?
Да, можно.
S> Почему не делают?
Потому что на одной пластине много маленьких камешков. По каждому надо пройтись лучом. Это долго.
Основным недостатком электронной литографии является удручающе медленная скорость работы – чтобы экспонировать 300 мм пластину, понадобится около месяца.
Основным недостатком электронной литографии является удручающе медленная скорость работы – чтобы экспонировать 300 мм пластину, понадобится около месяца.
Но если поставить по экспонометру в каждый китайский гараж — получится огого.
Здравствуйте, Shmj, Вы писали:
S>Вопрос такой — а что если вместо света использовать поток электронов, как в электронном микроскопе? Почему не делают? Ведь там и линзы не нужны — можно управлять магнитным полем.
Давно используется. И линзы там есть, но магнитные (возможно и электрические)...
Учи матчасть.
В вики хотя бы загляни — электронная литография
S>>Вопрос такой — а что если вместо света использовать поток электронов, как в электронном микроскопе? Почему не делают? Ведь там и линзы не нужны — можно управлять магнитным полем.
SIT>Давно используется. И линзы там есть, но магнитные (возможно и электрические)... SIT>Учи матчасть. SIT>В вики хотя бы загляни — электронная литография
Не слышал чтобы оно прям в production пошло, втом числе из-за того, что одна 300мм пластина будет месяц там отрисовываться.
Здравствуйте, Glestwid, Вы писали:
G>Не слышал чтобы оно прям в production пошло, втом числе из-за того, что одна 300мм пластина будет месяц там отрисовываться.
Так давно работают над проекционной ЭЛ. Не знаю, как сейчас дела с ней... Видел в живую такой литограф ~30 лет назад
G>>Не слышал чтобы оно прям в production пошло, втом числе из-за того, что одна 300мм пластина будет месяц там отрисовываться.
SIT>Так давно работают над проекционной ЭЛ. Не знаю, как сейчас дела с ней... Видел в живую такой литограф ~30 лет назад
Ключевые слова — "давно", "работают" и "30 лет назад". А воз и ныне там, как с УТС.
Здравствуйте, Shmj, Вы писали:
S>Вопрос такой — а что если вместо света использовать поток электронов, как в электронном микроскопе? Почему не делают? Ведь там и линзы не нужны — можно управлять магнитным полем.
Еще на Интеграле в 1991 году делали. Советские БИМС были самыми большими интегральными схемами.
S>Вопрос такой — а что если вместо света использовать поток электронов, как в электронном микроскопе? Почему не делают? Ведь там и линзы не нужны — можно управлять магнитным полем.
Здравствуйте, SergeyIT, Вы писали:
SIT>Здравствуйте, Bjorn Skalpe, Вы писали:
BS>>Свет — это фотон, фотон меньше электрона.
SIT>Откуда такая информация?
Здравствуйте, Bjorn Skalpe, Вы писали:
BS> S>Вопрос такой — а что если вместо света использовать поток электронов, как в электронном микроскопе? Почему не делают? Ведь там и линзы не нужны — можно управлять магнитным полем.
BS> Свет — это фотон, фотон меньше электрона. Фотон УФ — ~1e-8 м Электрон — 2.4e-12 м
Здравствуйте, Эйнсток Файр, Вы писали:
ЭФ> ·> Запрещает ЭФ> Объективы не нужны. Нужно одно отражение от зеркала с маской.
Зеркало каким-то способом отменяет дифракцию?
Здравствуйте, Эйнсток Файр, Вы писали:
SIT>> Попробуйте получить увеличение в 100000000 в оптическом микроскопе... SIT>> В электронном — легко. Почему?
ЭФ>Потому что в электронном микроскопе не используются ЭФ>глаза человека в качестве регистрирующего инструмента ЭФ>с их природными ограничениями.
Современные оптические микроскопы тоже не используют глаза человека... ты отстал от жизни.
Здравствуйте, ·, Вы писали:
·>Здравствуйте, Bjorn Skalpe, Вы писали:
BS>> S>Вопрос такой — а что если вместо света использовать поток электронов, как в электронном микроскопе? Почему не делают? Ведь там и линзы не нужны — можно управлять магнитным полем.
BS>> Свет — это фотон, фотон меньше электрона.
Фотон УФ — ~1e-8 м
Электрон- 2.4e-12 м
Не верно меряешь. Длинна волны, это длинна, а не ширина взаимодействия. Электрон переходя с одной орбиты на другую испускает или поглощает фотон.
Здравствуйте, Bjorn Skalpe, Вы писали:
BS>Фотон УФ — ~1e-8 м BS>Электрон- 2.4e-12 м
BS>Не верно меряешь. Длинна волны, это длинна, а не ширина взаимодействия.
Это именно то, что имеет значение в обсуждаемой теме.
Здравствуйте, Bjorn Skalpe, Вы писали:
BS> BS>> Свет — это фотон, фотон меньше электрона. BS> Фотон УФ — ~1e-8 м BS> Электрон- 2.4e-12 м BS> Не верно меряешь. Длинна волны, это длинна, а не ширина взаимодействия. Электрон переходя с одной орбиты на другую испускает или поглощает фотон.
Так говори конкретно. Как померить ширину фотона и электрона и сколько именно получится?
Здравствуйте, pagid, Вы писали:
P>Здравствуйте, Bjorn Skalpe, Вы писали:
BS>>Фотон УФ — ~1e-8 м BS>>Электрон- 2.4e-12 м
BS>>Не верно меряешь. Длинна волны, это длинна, а не ширина взаимодействия. P>Это именно то, что имеет значение в обсуждаемой теме.
Нет. Прочтите определение длинны волны и амплитуды, интенсивности.
Здравствуйте, ·, Вы писали:
·>Здравствуйте, Bjorn Skalpe, Вы писали:
BS>> BS>> Свет — это фотон, фотон меньше электрона. BS>> Фотон УФ — ~1e-8 м BS>> Электрон- 2.4e-12 м BS>> Не верно меряешь. Длинна волны, это длинна, а не ширина взаимодействия. Электрон переходя с одной орбиты на другую испускает или поглощает фотон. ·>Так говори конкретно. Как померить ширину фотона и электрона и сколько именно получится?
Никак, можно оперировать тем, что это волна и говорить об ее амплитуде.
Здравствуйте, Bjorn Skalpe, Вы писали:
BS>Нет. Прочтите определение длинны волны и амплитуды, интенсивности.
Возможности миниатюризации литографии определяются именно длинной волны. Предельные во всяком случае.
Re[3]: Литография потоком электронов - позволит уменьшить чи
Здравствуйте, pagid, Вы писали:
P>Здравствуйте, Bjorn Skalpe, Вы писали:
BS>>Свет — это фотон, фотон меньше электрона. P>У них есть размер? Как измеряли?
Никак. Утверждение основано на факте, что электрон поглощает/испускает фотон. Значит фотон меньше электрона.
Здравствуйте, ·, Вы писали:
·>Здравствуйте, Bjorn Skalpe, Вы писали:
BS>> BS>> Свет — это фотон, фотон меньше электрона. BS>> Фотон УФ — ~1e-8 м BS>> Электрон- 2.4e-12 м BS>> Не верно меряешь. Длинна волны, это длинна, а не ширина взаимодействия. Электрон переходя с одной орбиты на другую испускает или поглощает фотон. ·>Так говори конкретно. Как померить ширину фотона и электрона и сколько именно получится?
Для оценки больше-меньше мерить не обязательно, достаточно факта, что электрон поглощает-испускает фотон, переходя с одной орбиты на другую.
Re[4]: Литография потоком электронов - позволит уменьшить чи
Здравствуйте, Bjorn Skalpe, Вы писали:
BS>Никак. Утверждение основано на факте, что электрон поглощает/испускает фотон. Значит фотон меньше электрона.
То есть он в него не поместился будь бы больше?
А как там с Большим Взрывом? И как же туда все поместилось?
Здравствуйте, pagid, Вы писали:
P>Здравствуйте, Bjorn Skalpe, Вы писали:
BS>>Никак. Утверждение основано на факте, что электрон поглощает/испускает фотон. Значит фотон меньше электрона. P>То есть он в него не поместился бы будь больше?
P>А как там с Большим Взрывом? И как же туда все поместилось?
То что было стянуто в точку, расширилось... Все же очевидно. Так как электрон имеет конечный размер и конечную массу, то имеет фиксированную единицу искривления пространства и влияние на размеры падающих на него частиц, с которыми он взаимодействует. Для оценки больше-меньше, с учетом этого факта можно утверждать, что электрон больше фотона, да и масса электрона на 5 порядков больше массы фотона (10e-31 и 10e-36 кг)
Здравствуйте, Bjorn Skalpe, Вы писали:
BS>·>Так говори конкретно. Как померить ширину фотона и электрона и сколько именно получится? BS>Для оценки больше-меньше мерить не обязательно, достаточно факта, что электрон поглощает-испускает фотон, переходя с одной орбиты на другую.
А ничего, что фотон может породить электрон-позитронную пару, например?
γ → e− + e+
но это не зря, хотя, может быть, невзначай
гÅрмония мира не знает границ — сейчас мы будем пить чай
Re[4]: Литография потоком электронов - позволит уменьшить чи
Здравствуйте, Bjorn Skalpe, Вы писали:
S>>Вопрос такой — а что если вместо света использовать поток электронов, как в электронном микроскопе? Почему не делают? Ведь там и линзы не нужны — можно управлять магнитным полем. BS>Свет — это фотон, фотон меньше электрона.
Фотон может иметь любой размер. Те фотоны, с которыми можно работать с помощью оптики, имеют размер сильно больший, чем электрон.
Sapienti sat!
Re[5]: Литография потоком электронов - позволит уменьшить чи
Здравствуйте, SergeyIT, Вы писали:
SIT>Здравствуйте, Bjorn Skalpe, Вы писали:
BS>>Никак. Утверждение основано на факте, что электрон поглощает/испускает фотон. Значит фотон меньше электрона.
SIT>Электрон фотоны не поглощает, а взаимодействует с ними, для этого взаимодействия размер не важен.
И куда же он деваете? х)))) Вообще-то именно поглощается энергия...
Представьте на минутку, что никакого вещества не существует. Есть энергия в форме солитона волн. У этого солитона есть размеры. Размер длинны по различным осям, размер длинн волн по различным направлениям и энергетическая амплетуда... Электрон представляет направленный в три направления волновой пакет, по этому у него есть размер. Фотон вытянутая в одном направлении волна с длинной волны, и амплетудой в электромагнитном поле... Когда говорят о размере, сравнивают амплетуды, т.е. энергию, т.е. массы по E=mc^2. Масса/энергия фотона в 5 порядков меньше энергии электрона... так что попадая на электрон он полностью поглощается...
Здравствуйте, Cyberax, Вы писали:
C>Здравствуйте, Bjorn Skalpe, Вы писали:
S>>>Вопрос такой — а что если вместо света использовать поток электронов, как в электронном микроскопе? Почему не делают? Ведь там и линзы не нужны — можно управлять магнитным полем. BS>>Свет — это фотон, фотон меньше электрона. C>Фотон может иметь любой размер. Те фотоны, с которыми можно работать с помощью оптики, имеют размер сильно больший, чем электрон.
Работая с оптикой вы имеете с потоком фотонов, а не с одиночным фотоном. Да и одиночный фотон не может быть использован в приборе, который влияет на положение атомов, только меняет энергетическую орбиту электрона. С потоком Линейный сконцентрированный поток фотонов — это лазер. Аналогично с электронами — там поток. Ширина потока лазера меньше ширины потока электронов.
Re[5]: Литография потоком электронов - позволит уменьшить чи
Здравствуйте, SergeyIT, Вы писали:
SIT>Здравствуйте, Bjorn Skalpe, Вы писали:
BS>>Никак. Утверждение основано на факте, что электрон поглощает/испускает фотон. Значит фотон меньше электрона.
SIT>Электрон фотоны не поглощает, а взаимодействует с ними, для этого взаимодействия размер не важен.
Взаимодействие путем поглощения. После взаимодействия фотона не остается.
Здравствуйте, Bjorn Skalpe, Вы писали:
BS>Работая с оптикой вы имеете с потоком фотонов, а не с одиночным фотоном. Да и одиночный фотон не может быть использован в приборе, который влияет на положение атомов, только меняет энергетическую орбиту электрона. С потоком Линейный сконцентрированный поток фотонов — это лазер. Аналогично с электронами — там поток. Ширина потока лазера меньше ширины потока электронов.
