Сообщение куда стремятся сканеры (EUV and beyond) и litho технологии от 18.02.2024 14:38
Изменено 19.02.2024 20:48 xma
куда стремятся сканеры (EUV and beyond) и litho технологии в
куда стремятся сканеры
https://pbs.twimg.com/media/GGkVLfYXgAAS_Rv?format=png&name=900x900
Скрытый текст | |
![]() | |
а пояснительную бригаду можно ?
![](/Forum/Images/biggrin.gif)
я так понимаю что Beyond EUV 6 nm @ 0.5 NA — это самый крутой варик ? что это такое, когда появится и что даст ?
а раньше я думал что Hyper-NA это максимум, при том как утверждали в ASML что даже и потенциально экономически не окупаемый ..
а что такое "LELE or SADP" ? многократное экспозирование ?
куда стремятся сканеры (EUV and beyond) и litho технологии
куда стремятся сканеры
https://pbs.twimg.com/media/GGkVLfYXgAAS_Rv?format=png&name=900x900
Скрытый текст | |
![]() | |
а пояснительную бригаду можно ?
![](/Forum/Images/biggrin.gif)
я так понимаю что Beyond EUV 6 nm @ 0.5 NA — это самый крутой варик ? что это такое, когда появится и что даст ?
а раньше я думал что Hyper-NA это максимум, при том как утверждали в ASML что даже и потенциально экономически не окупаемый ..
а что такое "LELE or SADP" ? многократное экспозирование ?