Можно воспользоваться атрибутом StructLayout, сказав LayoutKind.Explicit и явно указав размер. Далее, на члены навесить атрибут FieldOffset.
Для описания массивов удобно пользоваться синтаксисом fixed arrays (введенным во FW2.0). Если пишется под FW1.1, то придется объявить лишь первый элемент массива, а доступ к произвольному элементу получать через адресную арифметику.
