![]() |
От: | xma | |
Дата: | 18.02.24 17:10 | ||
Оценка: |
Сейчас ASML занимается производством, поставками и сборкой сканера последнего поколения High-NA Twinscan EXE, способного создавать полупроводники с технологическими нормами вплоть до 1-нм.
Для дальнейшего уменьшения транзисторов потребуется использовать новые сканеры, над которыми нидерландская компания уже работает.
Hyper-NA, ориентированных на “гипервысокую” числовую апертуру более 0.7, которая может стать основой для транзисторов менее 1-нм.
«Hyper-NA с числовой апертурой выше 0.7 – это возможность, которая станет более реальной примерно к 2030 году. Вероятно, она будет наиболее актуальной для логики процессоров
сканеры нового поколения будут еще больше и значительно дороже текущих сканеров High-NA с числовой апертурой 0.55.
«Hyper-NA с числовой апертурой выше 0,7 — это, безусловно, возможность, которая станет более заметной примерно с 2030 года», — написал Мартин ван ден Бринк, технический директор ASML
«Вероятно, это будет наиболее актуально для Logic — но это также может быть возможностью для DRAM.»
Но шаг металла станет еще меньше, чем 1 нм, поэтому отрасли потребуются более сложные инструменты, чем устройства ASML с высокой числовой апертурой. Это приводит нас к инструментам Hyper-NA с проекционной оптикой с еще более высокой числовой апертурой.
Технический директор ASML Мартин ван ден Бринк подтвердил в интервью, что жизнеспособность технологии Hyper-NA исследуется. Однако окончательное решение еще не принято.
Hyper-NA будет стоить дороже, поэтому ASML придется ответить на два вопроса: возможно ли это реализовать технологически и будет ли это экономически целесообразно для ведущих производителей логических микросхем.
Осталось только три ведущих производителя чипов: Intel, Samsung Foundry и TSMC. Японская компания Rapidus еще не превратилась в реального конкурента.
«Внедрение Hyper-NA будет зависеть от того, насколько мы сможем сократить расходы», — сказал в прошлом году Мартин ван ден Бринк.
«В последние месяцы я обрел уверенность и понимание того, что клиенты хотят настолько снизить разрешение, что возможность использования Hyper-NA для массового производства микросхем логики и памяти существует. Это произойдет примерно в следующем десятилетии. Но это зависит от затрат».