Хорошая статья: https://habr.com/ru/company/droider/blog/516386/

Описана проблема размеров транзистора — все упирается в длину волны. Уже до совсем жесткого УФ дошли, что вызвало немало проблем и с оптикой.

Вопрос такой — а что если вместо света использовать поток электронов, как в электронном микроскопе? Почему не делают? Ведь там и линзы не нужны — можно управлять магнитным полем.