Если совсем хардкорно, то у MS есть perfcollect — это тупо скрипты, которые через LTTng собирают события рантайма + из EventSources + сэмплы CPU через perf.
Чтобы работали нужно еще само преложение с определенным env-переменными запустить.
Собираем этой штукой в файл, смотрим через PerfView (винда) или TraceCompass (nix).

Если более лайтово, то есть набор cli-утилит: dotnet-counters, dotnet-dump, dotnet-trace, dotnet-monitor.

У JetBrains есть dotTrace for Linux x64 (не пользовался)